【半導体】分析装置への組込可能な広帯波長可変・連続発振小型レーザー光源

2022年4月22日

名古屋大学　大学院工学研究科　総合エネルギー工学専攻　准教授　富田英生共同研究者：名古屋大学　大学院工学研究科　特任助教　Volker Sonnenschein 共同研究者：東京大学　大学院工学研究科　助教　寺林稜平

■概要

本技術は、半導体レーザー直接励起による新規Ti:Saレーザー装置に関するものです。独自の光学設計・レーザー共振器デザインによりシームレス広帯波長可変（基本波670－1000nm、拡張可）・狭線幅（1MHz以下）・高出力（～１W）な連続発振レーザー光を、励起光源一体のコンパクトパッケージで実現しました。大型・高額で光学実験室において専門家しか扱えないという波長可変連続発振レーザーの従来イメージを覆す、革新的な光源として、各種分析装置への組込が期待でき、新たな分析装置実現の一助となりえます。

■活用例

レーザーを用いた多様な分析装置への適用が想定されています。特に、ラマン散乱・ブリルアン散乱に基づく分光顕微イメージング装置や半導体中の微量不純物分析装置、微量ガス分光装置などへの活用を考えています。

■お問い合わせ

名古屋大学　大学院工学研究科エネルギー理工学専攻　富田研究グループ
E-mail:h-tomita@energy.nagoya-u.ac.jp
URL:http://www.qbe.energy.nagoya-u.ac.jp/

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